シリコン半導体成膜素材

エア・ウォーター・エレクトロニクス（株）では、シリコン半導体製品を取りそろえております。

当社は20年以上かけて築いた世界中の特殊ケミカルメーカーとの関係により、様々なプロセス材料を取り扱っております。

製品詳細

シリコン半導体

シリコン半導体の前工程（洗浄や成膜など）に用いられる特殊ケミカルの輸入・販売を行っています。20社以上の半導体メーカーへの供給実績があり、高品質な材料を安定供給しています。量産用の材料から次世代に向けた開発用の最先端材料まで、幅広く取りそろえています。
 

ヴェルサムマテリアルズ（旧名エア・プロダクツ）製品

半導体プロセスについて豊富な知識を活かして特殊材料を展開しているヴェルサムマテリアル社の特殊ケミカルは、半導体製造におけるさまざまなプロセスに不可欠な製品として、世界各地の半導体工場で使用されています。ドーピングに使用されるオキシ塩化リン（POCL3）などをはじめ、様々なプロセスで使用される最先端の特殊ケミカルを幅広く取りそろえています。

取り扱う製品の種類

・TransLC®

・ビスタ－シャルブチルアミノシラン（BTBAS）

・テトラキスジメチルアミノチタン(TDMAT)

・トリメチルシラン

・テトラメチルシラン
・ターシャリーブチルイミドトリス(エチルメチルアミノ)タンタル   (TBTEMT)
・α-テルピネン(ATRP)
・ジエトキシメチルシラン（DEMS）

化合物半導体有機金属素材

エア・ウォーター・エレクトロニクス（株）では、化合物半導体製品を取りそろえております。

LEDやパワーデバイス、高周波デバイス、認証用センサー、ヘッドマウントディスプレー（HMD）などの化合物半導体製品では新たなデバイスの開発・実用化が着々と進んでいます。これら化合物半導体製品は高純度有機金属材料（MO）とMOCVD装置を用い、ガリウム、アルミニウム、インジウムの窒化物などを積層することで作成されています。当社はつくば特殊化学品センターで厳重な品質管理を行い、独自のソリューションシステム、多様な容器ラインナップ、細かな供給体制で全国のお客様に製品を提供致します。

製品詳細

取り扱う製品の種類

・トリメチルガリウム（TMG）

・トリエチルガリウム（TEG）

・トリメチルアルミニウム（TMA）

・トリメチルインジウム（TMI）

・その他ドーパント材料
ほか